卷对卷(薄膜、卷板)对应型

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薄膜、卷板对应型,是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁

例如,已有对新能源材料-锂电薄膜(阳极阴极膜整面、Sliting边缘);光学薄膜-偏光片、导光板;电容器件-MLCC制造工艺等的非接触式精密除尘清洁。

薄膜、卷板对应型旋风模组设计保持了平面型和微小器件对应型的外观与内部整体结构,并针对卷板/薄膜/膜片制造工艺中的大宽幅、裁切后边部处理再清洁、除异物毛刺等需求,进行高旋轴与特制气嘴的优化排列,可满足现有干燥炉、再复合、精度提升等新工艺中的洁净度要求。

用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备,或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元,均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。

薄膜、卷板对应型目前已应用的行业有,新能源材料、光学薄膜、复合功能膜、MLCC器件制造、新型钢板、特殊纸张等领域。具体情况请查阅案例介绍部分,或直接与我们联系咨询。


卷对卷(薄膜、卷板)对应型旋风超高精密除尘模组设备清洁参数:

清洁方式清洁精度清洁长度清洁宽度被洁面高度清洁速度运行供气压
接触式10㎛(99%↑), 5㎛(90%↑)800-2200mm(可选型) 50-66mm8-40mm900mm/Sec Max0.25~0.4mPa
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旋风超精密除尘、除异物设备是一种超精密非接触式清洁设备,目前已在精密电子制造、医疗化妆品、新能源材料等领域的头部企业中应用。

  • 适用于严苛工艺要求的产品制造环节

  • 替代以往的风刀、真空、超声、离子等除尘方式的效果不足。

  • 不仅对平面,对凹凸面及立体表面部件也具有高效的洁净效果

  • 增进清洁度、提升良率、节省人工。

  • 行业头部企业及其产业链企业中的较多应用实绩

  • 多年工艺升级改善经验,多种旋风模组部件定制选型产品

  • 工艺:附着性及微粘性异物清洁、非接触式干式除尘清洁

  • 设备:XJDC旋风干式清洁模组设备

绍兴东凯半导体/协积实业(上海)
减少人工,提升良率,主要解决超微精密设备在特殊工艺段、关键工艺段、晶圆暴露工艺段中Partical(微生物、微颗粒、微尘埃)等问题

手机号码:13816590989
联系邮箱:ly@xiejish.com
地址/Add:上海市市辖区闵行区申长路中骏广场1期3号楼
工厂地址:绍兴东凯半导体有限公司
浙江省绍兴市越城区临江路480号中日韩半导体产业园8号楼4楼

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