OLED制造工艺中的异物处理

OLED前后道制造工艺中，随着产品升级与工艺革新的不断要求，对异物管控的要求也将日益提高，特别在异形状、曲面、挠性等OLED有机发光屏的制程工艺上，对清洁度、清洁度、良率、人工、成本等的要求也是日益增进。旋风非接触式精密除尘设备在OLED屏制造领域的应用有如下举例：

1.OLED屏-手机、平板、显示器-贴合工艺中的设备前、设备内置除尘除异物单元（对平面、异形状、曲面、挠性OLED屏的清洁）

2.柔性OLED的基板材料PI，在通过载板玻璃激光剥离后，浮尘异物的清洁

3.OLED基板玻璃激光剪切后，精密加工平台的接触式旋风除尘除异物。OLED (Flexible、Rigid) Laser Cut Stage 精密加工平台

4.发光pattern的清洁