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平面对应型-旋风超高精密除尘模组设备(大尺寸、中小尺寸、宽幅、窄幅、超窄宽幅)

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产品详情

平面对应型,是指对表面为水平面的器件、组件进行非接触式清洁。例如,对晶圆-芯片;显示器件-显示屏、背光模组、中间层材料(几种光学膜片);FPCB-原片基板等产品的非接触式精密除尘清洁。旋风平面对应型设计有短、中、长度,以及适正宽幅、超窄宽幅尺寸。整体为正长方形状,采用特有的一体式Profile结构工艺外观设计。内部由旋风高璇转轴及特制气嘴组成,其排列组合以多年现场经验和所积累的气流模拟量算法布置排列,可针对用户的不同使用场景设定使用。 用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备,或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元,均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。 平面型目前已有应用的行业有,平面显示、功能膜片、医疗器械、医用包装、新能源等领域,在其行业头部企业及其产业链中的使用评价良好。具体情况请查阅案例介绍部分,或直接与我们联系咨询。


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平面对应型-旋风超高精密除尘设备清洁参数:

除尘方式:非接触式

清洁精度:10㎛(99%↑), 5㎛(90%↑)

清洁长度:50-2700mm(可选型)

清洁宽度:   50-100mm

被洁面高度:   8-60mm

清洁速度:900mm/Sec Max

运行供气压: 0.25~0.4mPa


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旋风超精密除尘、除异物设备是一种超精密非接触式清洁设备,目前已在精密电子制造、医疗化妆品、新能源材料等领域的头部企业中应用。

  • 适用于严苛工艺要求的产品制造环节

  • 替代以往的风刀、真空、超声、离子等除尘方式的效果不足。

  • 不仅对平面,对凹凸面及立体表面部件也具有高效的洁净效果

  • 增进清洁度、提升良率、节省人工。

  • 行业头部企业及其产业链企业中的较多应用实绩

  • 多年工艺升级改善经验,多种旋风模组部件定制选型产品

  • 工艺:附着性及微粘性异物清洁、非接触式干式除尘清洁

  • 设备:XJDC旋风干式清洁模组设备

协积实业(上海)有限公司
减少人工,提升良率,主要解决超微精密设备在特殊工艺段、关键工艺段、晶圆暴露工艺段中Partical(微生物、微颗粒、微尘埃)等问题
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