平面对应型

平面对应型，是指对表面为水平面的器件、组件进行非接触式清洁。

例如，对晶圆-芯片；显示器件-显示屏、背光模组、中间层材料（几种光学膜片）；FPCB-原片基板等产品的非接触式精密除尘清洁。旋风平面对应型设计有短、中、长度，以及适正宽幅、超窄宽幅尺寸。整体为正长方形状，采用特有的一体式Profil结构工艺外观设计。内部由旋风高璇转轴及特制气嘴组成，其排列组合以多年现场经验和所积累的气流模拟量算法布置排列，可针对用户的不同使用场景设定使用。 用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备，或在

原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元，均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。 平面型目前已有应用的行业有，平面显示、功能膜片、医疗器械、医用包装、新能源等领域的除尘洁净，在其行业头部企业及其产业链中的使用评价良好。具体情况请查阅案例介绍部分，或直接与我们联系咨询。

平面对应型旋风超高精密除尘设备清洁参数：

除尘方式	清洁精度	清洁长度	清洁宽度	被洁面高度	清洁速度	运行供气压
非接触式	10㎛(99%↑), 5㎛(90%↑)	50-2700mm(可选型）	50-100mm	8-60mm	900mm/Sec Max	0.25~0.4mPa

旋风超精密除尘、除异物设备是一种超精密非接触式清洁设备，目前已在精密电子制造、医疗化妆品、新能源材料等领域的头部企业中应用。

• 适用于严苛工艺要求的产品制造环节

• 替代以往的风刀、真空、超声、离子等除尘方式的效果不足。

• 不仅对平面，对凹凸面及立体表面部件也具有高效的洁净效果

• 增进清洁度、提升良率、节省人工。

• 行业头部企业及其产业链企业中的较多应用实绩

• 多年工艺升级改善经验，多种旋风模组部件定制选型产品

• 工艺：附着性及微粘性异物清洁、非接触式干式除尘清洁

• 设备：XJDC旋风干式清洁模组设备