激光发生器核心清洁痛点与难点

       激光发生器是传感器件、先进制造的核心光源,其光学镜片、谐振腔、冷却管路的洁净度直接决定激光输出功率与稳定性,全流程清洁痛点突出:

  • 光学组件环节:激光作业过程中易产生金属蒸汽、粉尘颗粒,附着在光学镜片表面,会导致激光输出功率下降、光束质量变差,传统清洁易划伤镜片镀膜;
  • 谐振腔环节:谐振腔内部易吸附环境微尘、冷却介质残留,接触式清洁易破坏腔体内的精密光学对准,影响激光模式稳定性;
  • 高端应用环节:精密加工、医疗美容等场景对激光发生器精度要求极高,微尘、杂质会直接导致激光输出不稳定、光斑畸变,进一步提升了清洁作业的技术难度。

东凯·非接触式旋风清洁设备解决方案

        针对上述痛点,我们的设备可精准适配激光发生器的光学特性与精密结构,提供高效清洁保障:

  • 特种结构设计:防刮擦多吸入口布局,配合惰性气体吹扫结构,高效收集金属蒸汽与粉尘颗粒,抑制粉尘飞散,杜绝清洁过程中的镜片镀膜损伤与二次污染;
  • 稳定性能保障超精密转速监控+稳定转轴设计,供气压波动或即使达到5.0㎏/㎠时仍保持恒定低震转速,确保清洁过程中光学对准精度不受影响,无磨损、无变形
  • 精准高效清洁:基于现场经验与气流模拟算法,优化气嘴角度与气流速度,实现非接触式精密除尘,彻底清除光学镜片、谐振腔内部的金属蒸汽、粉尘颗粒与冷却介质残留;
  • 降本提质优势:可实现激光发生器离线自动化清洁,减少人工干预,提升激光输出功率与稳定性,降低光学组件更换成本,适配各类高端激光发生器应用场景。

以下图片内容为东凯独有,仅作展示使用

东凯优势

东凯・特种结构设计
●多吸入口布局,有效抑制粉尘飞散
●高端转速实时监控 运行状态更可控
东凯・转轴性能升级
●强化防护结构,减少异物侵入风险
●稳定输出转速,设备运行更可靠
东凯・气压适应能力
●供气压力波动时或即使达到 5.0㎏/㎠仍保持恒定转速
●3.5㎏/㎠以上工况稳定运行,衰减幅度低。
东凯・严苛验证保障
●经过头部客户气流测试、高速摄像等多维度严格验证
●实际工况适配性与稳定性经过量产检验

绍兴东凯半导体/协积实业(上海)
减少人工,提升良率,主要解决超微精密设备在特殊工艺段、关键工艺段、晶圆暴露工艺段中Partical(微生物、微颗粒、微尘埃)等问题

手机号码:13816590989
联系邮箱:ly@xiejish.com
地址/Add:上海市市辖区闵行区申长路中骏广场1期3号楼
工厂地址:绍兴东凯半导体有限公司
浙江省绍兴市越城区临江路480号中日韩半导体产业园8号楼4楼

找到我们