陶瓷传感器生产与使用核心清洁痛点与难点

       陶瓷基板是功率半导体、传感器件的核心载体,其高硬度、高绝缘特性对清洁度要求严苛,全流程清洁痛点突出

  • 生产成型环节:烧结、切割工艺易产生陶瓷粉末、金属颗粒残留,细微杂质嵌入基板表面微孔,传统清洁难以彻底清除,会导致后续金属化层结合力不足、绝缘性能下降;
  • 金属化工艺环节:溅射、电镀过程中易吸附有机污染物、金属离子,接触式清洁易刮伤金属化层,破坏基板的导电与绝缘性能;
  • 高端应用环节:新能源汽车、轨道交通等场景对陶瓷基板可靠性要求极高,微尘、杂质会直接导致电路短路、绝缘击穿,进一步提升了清洁作业的难度。

东凯·非接触式旋风清洁设备解决方案

        针对上述痛点,我们的设备可精准适配陶瓷传感器的高硬度与绝缘特性,提供高效清洁保障:

  • 特种结构设计:耐磨多吸入口布局,配合定向气流吹扫结构,高效收集陶瓷粉末与金属颗粒,抑制粉尘飞散,杜绝清洁过程中的二次污染与金属化层损伤;
  • 稳定性能保障超精密转速监控+稳定转轴设计,供气压波动或即使达到5.0㎏/㎠时仍保持恒定转速,确保清洁力度充足且不刮伤陶瓷基板表面
  • 精准高效清洁:基于现场经验与气流模拟算法,优化气嘴材质与气流压力,实现非接触式精密除尘,彻底清除基板表面微孔内的陶瓷粉末、金属颗粒与有机污染物;
  • 降本提质优势:可实现陶瓷基板离线自动化清洁,减少人工干预,提升金属化层结合力与绝缘性能,降低电路故障导致的报废成本,适配各类高端陶瓷基板应用场景。

以下图片内容为东凯独有,仅作展示使用

东凯优势

东凯・特种结构设计
●多吸入口布局,有效抑制粉尘飞散
●高端转速实时监控 运行状态更可控
东凯・转轴性能升级
●强化防护结构,减少异物侵入风险
●稳定输出转速,设备运行更可靠
东凯・气压适应能力
●供气压力波动时或即使达到 5.0㎏/㎠仍保持恒定转速
●3.5㎏/㎠以上工况稳定运行,衰减幅度低。
东凯・严苛验证保障
●经过头部客户气流测试、高速摄像等多维度严格验证
●实际工况适配性与稳定性经过量产检验

绍兴东凯半导体/协积实业(上海)
减少人工,提升良率,主要解决超微精密设备在特殊工艺段、关键工艺段、晶圆暴露工艺段中Partical(微生物、微颗粒、微尘埃)等问题

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