光MOS传感器生产检测核心清洁痛点与难点

        光MOS传感器是传感器件的核心组件,其光敏面、电极结构的洁净度直接决定光电性能与检测可靠性,全流程清洁痛点突出:

  • 芯片制造环节:光刻、蚀刻工艺易产生金属颗粒,细微杂质附着在光敏面或电极表面,会导致光响应不均、暗电流增大,传统清洁难以彻底清除且易损伤光敏涂层;
  • 封装测试环节:键合、封装过程中易吸附环境微尘、胶黏剂残留,接触式清洁易造成电极变形、光敏面划伤,影响传感器的光电转换效率;
  • 高端应用环节:工业视觉、自动驾驶等场景对光MOS传感器精度要求极高,微尘会直接导致检测误差、信号失真,进一步提升了清洁作业的难度。

东凯·非接触式清洁设备解决方案

        针对上述痛点,我们的设备可精准适配光MOS传感器的光电特性与精密结构,提供高效清洁保障:

  • 特种结构设计:微纳级多吸入口阵列布局,精准覆盖光敏面与电极间隙,配合定向负压吸附,高效收集细微污染物,杜绝清洁过程中的二次污染与光敏面损伤;
  • 稳定性能保障超精密转速监控+稳定转轴设计,供气压波动或即使达到5.0㎏/㎠时仍保持恒定低震转速,确保清洁过程中电极结构无变形、光敏涂层无损伤
  • 精准高效清洁:基于现场经验与气流模拟算法,优化气嘴孔径与气流参数,实现非接触式精密除尘,彻底清除光敏面、电极表面的金属颗粒与微尘;
  • 降本提质优势:可集成至传感器检测流水线,实现自动化清洁,减少人工干预,提升光电性能一致性与检测通过率,降低返工成本,性能经头部传感器件企业严格验证,适配各类高端光MOS传感器应用场景。

以下图片内容为东凯独有,仅作展示使用

东凯优势

东凯・特种结构设计
●多吸入口布局,有效抑制粉尘飞散
●高端转速实时监控 运行状态更可控
东凯・转轴性能升级
●强化防护结构,减少异物侵入风险
●稳定输出转速,设备运行更可靠
东凯・气压适应能力
●供气压力波动时或即使达到 5.0㎏/㎠仍保持恒定转速
●3.5㎏/㎠以上工况稳定运行,衰减幅度低。
东凯・严苛验证保障
●经过头部客户气流测试、高速摄像等多维度严格验证
●实际工况适配性与稳定性经过量产检验

绍兴东凯半导体/协积实业(上海)
减少人工,提升良率,主要解决超微精密设备在特殊工艺段、关键工艺段、晶圆暴露工艺段中Partical(微生物、微颗粒、微尘埃)等问题

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