芯片托盘生产与使用核心清洁痛点与难点

       芯片托盘作为芯片转运、存储的核心载体,其洁净度直接影响芯片良率与可靠性,全流程清洁痛点突出:

  • 生产成型环节:注塑、冲压过程易产生塑料微粒、金属碎屑残留,细微颗粒嵌入托盘表面纹理,传统清洁难以彻底清除,易成为后续芯片污染的源头;
  • 清洗与周转环节:托盘反复使用时,易吸附有机污染物及环境微尘,常规水洗或擦拭清洁效率低、效果不均,且接触式操作易造成托盘表面划伤、变形,影响芯片放置精度;
  • 芯片承载环节:托盘表面微尘、油污会直接转移至芯片引脚或表面,干扰芯片电性测试与外观检测,易导致误判漏检;同时,传统接触式清洁易产生二次颗粒污染,高端芯片对托盘洁净度、无损伤的要求进一步提升了清洁难度。

东凯·非接触式旋风清洁设备解决方案

          针对上述痛点,我们的设备可精准适配、高效解决,为芯片托盘洁净度提供可靠支撑:

  • 特种结构设计:多吸入口布局,配合定向气流导向,抑制粉尘飞散,杜绝清洁过程中的二次污染;
  • 稳定性能保障精准转速控制+特殊转轴设计,供气压波动或即使达到5.0㎏/仍保持恒定转速,确保对托盘复杂结构(如凹槽、卡槽)的清洁精度,避免托盘划伤与变形
  • 精准高效清洁基于现场经验与气流模拟算法,优化气嘴孔径与气流参数,实现非接触式精密除尘,彻底清除托盘表面及缝隙内的细微杂质
  • 降本提质优势:可集成至芯片托盘周转、清洗流水线,实现自动化清洁,减少人工干预,提升清洁效率与一致性,降低人工成本及芯片不良品率,适配各类高端芯片存储与周转场景。

以下图片内容为东凯独有,仅作展示使用

东凯优势

东凯・特种结构设计
●多吸入口布局,有效抑制粉尘飞散
●高端转速实时监控 运行状态更可控
东凯・转轴性能升级
●强化防护结构,减少异物侵入风险
●稳定输出转速,设备运行更可靠
东凯・气压适应能力
●供气压力波动时或即使达到 5.0㎏/㎠仍保持恒定转速
●3.5㎏/㎠以上工况稳定运行,衰减幅度低。
东凯・严苛验证保障
●经过头部客户气流测试、高速摄像等多维度严格验证
●实际工况适配性与稳定性经过量产检验

绍兴东凯半导体/协积实业(上海)
减少人工,提升良率,主要解决超微精密设备在特殊工艺段、关键工艺段、晶圆暴露工艺段中Partical(微生物、微颗粒、微尘埃)等问题

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